碳氢清洗剂的清洗原理是依据溶剂的溶解力进行清洗，基于对油脂或油性污染的溶解性的脱脂机理，相似相溶原则。汽油、灯油等碳氢化合物容易溶解重油，其它烃类，易与相近的卤代烃互溶。碳氢清洗剂与大多数的润滑油、防锈油、机加工油同为非极性的在石油馏分，根据相似相容的原理，碳氢清洗剂清洗矿物油更好于卤代烃和水基清洗剂。

碳氢清洗工艺具有以下优点：

1. 清洗性能好。碳氢溶剂对于润滑油、润滑脂、防锈油等具有极强的溶解力，并可以洗掉工件上的各类粉尘和金属屑。还可以清洗普通碳氢溶剂难于洗掉的电子线路板上的焊渣、焊药以及机加工件上的乳化切削液。
2. 毒性低。碳氢系列清洗剂以直链和异构烷烃为主要成分，脱除了有毒的芳烃和含硫化合物。经化学品毒性鉴定部门的检测，碳氢系列清洗剂的吸入毒性、经口毒性和皮肤接触毒性均为基本无毒，不属于致癌物质。
3. 可彻底挥发不留残迹。碳氢系列清洗剂是非常纯净的精制溶剂，在常温和加温状态下均可完全挥发，不会留下任何痕迹。
4. 对被清洗材料安全。碳氢系列清洗剂对金属材料不会产生腐蚀和锈蚀。对大部分塑料和橡胶没有溶解、溶胀和脆化作用。
5. 不破坏环境。碳氢系列清洗剂在土壤中可以自然降解。清洗废液可以放入燃煤或燃油锅炉中焚烧，焚烧的生成物主要为CO2和水，只有少量CO，对空气没有污染。
6. 价格便宜。碳氢系列清洗剂价格相当于F-113价格的50%以下，是氢氟化碳和氢氟乙醚价格的5%，是进口碳氢清洗剂价格的三分之二。